一种新型图形转移用水溶性显影添加剂
公开
摘要
本发明公开了一种新型图形转移用水溶性显影添加剂，按照质量分数包括以下原料，碱性物质40‑60％、表面活性剂5‑10％、缓蚀剂0.5‑1％、增溶剂1‑5％、软水剂3‑5％和余量的去离子水，所述新型图形转移用水溶性显影添加剂的酸碱值为12‑14。本发明采用上述结构的一种新型图形转移用水溶性显影添加剂，工艺简单，制作成本低，同时能提高产能20％，提高良率，使用寿命长，降低了设备清洗频率。
基本信息
专利标题 ：
一种新型图形转移用水溶性显影添加剂
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114563932A
申请号 ：
CN202210192859.1
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-03-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
井曼曼杨锦杨宗磊
申请人 ：
广东中科圳鑫科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市寮步镇塘唇塘富路1号305室
代理机构 ：
北京圣州专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王宇航
优先权 ：
CN202210192859.1
主分类号 ：
G03F7/32
IPC分类号 ：
G03F7/32
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
G03F7/32
所用的液体成分，例如，显影剂
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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