调焦光学成像系统
实质审查的生效
摘要
一种调焦光学成像系统,涉及光学技术领域,包括沿第一光轴方向依次间隔设置的标记板、第一对焦镜组、第二对焦镜组、筒镜、物镜和用于放置待测物体的物方平面板;物方平面板配置成能够沿第一光轴方向移动,以改变物方平面板和物镜之间的光轴距离;调焦光学成像系统还包括沿第二光轴方向依次设置的第三对焦镜组和图像采集装置;第一光轴方向与第二光轴方向垂直;第一对焦镜组与第二对焦镜组之间设置有折转反射镜;折转反射镜配置为令沿第一光轴方向传输的光线反射为沿第二光轴方向传输;标记板上设置有测量标记孔。本发明的目的在于提供一种调焦光学成像系统,以在一定程度上解决现有技术中存在的调焦时间较长、调焦精度较差的技术问题。
基本信息
专利标题 :
调焦光学成像系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114415325A
申请号 :
CN202210161373.1
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2022-02-22
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
申淙李欢田锐谭胜旺
申请人 :
北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
申请人地址 :
北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
代理机构 :
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
毕翔宇
优先权 :
CN202210161373.1
主分类号 :
G02B7/09
IPC分类号 :
G02B7/09 G02B7/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B7/00
光学元件的安装、调整装置或不漏光连接
G02B7/02
用于透镜
G02B7/04
有聚焦或改变放大率的机构
G02B7/09
适于自动聚焦或改变放大率的
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 7/09
申请日 : 20220222
申请日 : 20220222
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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