本发明公开了一种亚稳态惰性气体原子束流检测方法和系统，可用于对亚稳态原子束流进行强度和空间分布测量。该方法通过射频放电产生亚稳态原子，在原子运动轨迹上设置金属丝网，利用亚稳态原子与金属之间的碰撞使得亚稳态原子退激发产生电子，采用电子透镜聚焦退激发电子到电子倍增探测器上进行检测。由于退激发电子与亚稳态原子的相关参数线性相关，通过检测二次电子即可得到亚稳态原子束流强度、空间分布等参数信息。相比于传统激光诱导荧光检测，这种方法检测效率更高、结构简单、装置更小、便于携带和组装。