一种低畸变堆栈式扫描探针显微头和扫描头
公开
摘要
本发明公开了一种用于一种低畸变堆栈式扫描探针显微头和扫描头，显微头包括X堆栈、Y堆栈、探针模块以及薄片，所述X堆栈、Y堆栈之间通过薄片粘接，X堆栈和Y堆栈以及探针模块。X堆栈、Y堆栈都是由正方形压电片堆栈而成，结构完全一致，其中一个仅负责X方向形变，Y方向通过粘接薄片使其无法形变；另一个则只负责Y方向形变，X方向不发生形变。从而实现X、Y方向扫描的结构分离，也解决了非正交问题，因此会大大降低扫描畸变。
基本信息
专利标题 ：
一种低畸变堆栈式扫描探针显微头和扫描头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114594282A
申请号 ：
CN202210078911.0
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-01-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
郭颖王佳丽张徐开夏德铸严飞
申请人 ：
南京信息工程大学
申请人地址 ：
江苏省南京市宁六路219号
代理机构 ：
北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈国强
优先权 ：
CN202210078911.0
主分类号 ：
G01Q10/00
IPC分类号 ：
G01Q10/00 G01Q70/02 G01Q70/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q10/00
扫描或定位设备，即主动控制探针的运动或位置的设备
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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