一种多层结构的高稳定性无机电介质非晶薄膜电容器及其制备方...
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种多层结构的高稳定性无机电介质非晶薄膜电容器及其制备方法。依次包括基板、中间层和顶电极层；其中，所述中间层由n层非晶陶瓷薄膜层和(n‑1)层电极层交替叠加而成。其制备为：通过采用溶胶‑凝胶法制备非晶陶瓷薄膜，采用磁控溅射法制备电极层交替叠加成多层结构，再将多层结构进行退火，即可得到非晶薄膜电容器。该无机电介质非晶薄膜电容器具有高介电常数、储能密度和高温度稳定性的优点，在宽温度范围内具有优异的介电和温度稳定性，并有效提高了薄膜电容器的体积效率，符合器件小型化与集成化的需求。
基本信息
专利标题 ：
一种多层结构的高稳定性无机电介质非晶薄膜电容器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114373630A
申请号 ：
CN202210073512.5
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2022-01-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
曹明贺黄瑞王鸿业郝华尧中华刘韩星
申请人 ：
武汉理工大学
申请人地址 ：
湖北省武汉市洪山区珞狮路122号
代理机构 ：
湖北武汉永嘉专利代理有限公司
代理人 ：
李艳景
优先权 ：
CN202210073512.5
主分类号 ：
H01G4/12
IPC分类号 ：
H01G4/12 H01G4/30 H01G4/33
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01G
电容器；电解型的电容器、整流器、检波器、开关器件、光敏器件或热敏器件
H01G4/00
固定电容器；及其制造方法
H01G4/002
零部件
H01G4/018
电介质
H01G4/06
固体电介质
H01G4/08
无机电介质
H01G4/12
陶瓷电介质
法律状态
2022-05-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01G 4/12
申请日 : 20220121
申请日 : 20220121
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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