一种剥离液及其制备方法
实质审查的生效
摘要
一种剥离液及其制备方法，属于液晶面板和半导体生产技术领域。所述剥离液包括式I所示化合物、水溶性有机溶剂、胺类试剂、缓蚀剂、非离子表面活性剂和水。所述剥离液用于光刻胶的剥离，所述剥离液具有剥离效果好，剥离后光刻胶无残留，对金属的防腐蚀性好，使用寿命长等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种剥离液及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114527631A
申请号 ：
CN202210071409.7
公开（公告）日 ：
2022-05-24
申请日 ：
2022-01-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
卢燕燕张丽燕
申请人 ：
深圳深骏微电子材料有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区西乡街道华丰总部经济大厦A座625室
代理机构 ：
广东金泰智汇专利商标代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
林松涛
优先权 ：
CN202210071409.7
主分类号 ：
G03F7/42
IPC分类号 ：
G03F7/42
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/42
剥离或剥离剂
法律状态
2022-06-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/42
申请日 : 20220121
申请日 : 20220121
2022-05-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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