本发明公开了一种硅片背检设备和背检方法，该设备中螺旋导轨座上设置有自中心向边缘螺旋排布的第一凹槽，连杆的一端通过旋转轴连接在螺旋导轨座的中心，连杆的另一端绕螺旋导轨座的中心做圆周运动，滑块套设于在连杆上，滑块邻近第一凹槽的一侧设置有第一滚轮，远离第一凹槽的一侧布置有视觉检测装置，所述第一滚轮至少部分设置于所述第一凹槽内；驱动装置，驱动装置与旋转轴连接，用于驱动连杆旋转，以带动第一滚轮沿第一凹槽移动，同时带动滑块在连杆上滑动，使得视觉检测装置的移动轨迹为螺旋轨迹；承载台，用于承载待测硅片，待测硅片背向视觉检测装置的视场方向，从而，在简化螺旋扫描设备结构的基础上同时还可以保证检测精度。