高电导率、高透射率的透明导电薄膜及其制备方法和应用
实质审查的生效
摘要
本发明属于半导体领域，公开了高电导率、高透射率的透明导电薄膜及其制备方法和应用。该透明导电薄膜为CdO基透明导电薄膜，在400‑2500nm范围的平均透射率大于70％，且电导率大于3000S/cm。本发明在制备该透明导电薄膜的过程中，通过控制衬底温度、工作气体条件，调控薄膜的杂质或合金元素浓度、调节薄膜厚度以及适当的退火处理，可制得在全光谱具有高透射率高(平均透射率>70％)，其中在1000‑2500nm的平均透射率可>80％，高电导率(超过3000S/cm)的透明导电氧化物薄膜，可应用于全光谱(可见光到近红外乃至中红外波段)光电子器件，包括相应的柔性器件。
基本信息
专利标题 ：
高电导率、高透射率的透明导电薄膜及其制备方法和应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114496353A
申请号 ：
CN202210068977.1
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘超平
申请人 ：
汕头大学
申请人地址 ：
广东省汕头市大学路汕头大学
代理机构 ：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
代理人 ：
尹凡华
优先权 ：
CN202210068977.1
主分类号 ：
H01B5/14
IPC分类号 ：
H01B5/14 H01B13/00 H01L29/43 H01L31/0224 H01L33/42
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01B
电缆；导体；绝缘体；导电、绝缘或介电材料的选择
H01B5/00
按形状区分的非绝缘导体或导电物体
H01B5/14
在绝缘支承物上有导电层或导电薄膜的
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01B 5/14
申请日 : 20220120
申请日 : 20220120
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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