一种芯片自动移盘装置及其移盘方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种芯片自动移盘装置及其移盘方法，包括工作台，所述工作台的前部固装有工控机主体，所述工作台的上部后方固装有X轴主体，所述X轴主体的前部两侧分别设有Z1轴组件和Z2轴组件，所述工作台的上部一侧固装有Y1轴驱动组件，所述Y1轴驱动组件的上部设置有一号载盘托架，所述工作台的上部另一侧固装有Y2轴驱动组件，所述Y2轴驱动组件的上部设置有二号载盘托架，所述工作台的上部固装有一号下CCD定位系统和二号下CCD定位系统。本发明可在CCD定位系统定位下通过Z1轴组件和Z2轴组件自动定位移盘，结构设计减少工序移动路径，有利于提高摆放的准确性，且能够提高加工效率，同时设备结构设计合理，结构紧凑。
基本信息
专利标题 ：
一种芯片自动移盘装置及其移盘方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114538107A
申请号 ：
CN202210050539.2
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-01-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
詹登星李建华刘永兴蔡文文黄杰业
申请人 ：
东莞市安动半导体科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市寮步镇向西东区路17号2栋
代理机构 ：
深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈双喜
优先权 ：
CN202210050539.2
主分类号 ：
B65G49/07
IPC分类号 ：
B65G49/07
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G49/00
其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统
B65G49/05
用于易碎或易损的物料或物件
B65G49/07
用于半导体晶片的
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B65G 49/07
申请日 : 20220117
申请日 : 20220117
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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