一种日盲光探测器以及成像装置
实质审查的生效
摘要
本公开实施例提出了一种日盲光探测器以及成像装置,所述日盲光探测器包括衬底,在所述衬底上从上到下分别设置第一电极和第二电极,在所述第一电极和所述第二电极之间设置β‑Ga2O3薄膜,所述第一电极与所述β‑Ga2O3薄膜之间形成第一接触,所述第二电极与所述β‑Ga2O3薄膜之间形成第二接触,所述第一接触和所述第二接触位于所述衬底的垂直方向上。本公开实施例通过使用超薄β‑Ga2O3薄膜使得日盲光探测器同时具备超快响应速度和高响应度,利用透明电极使得其在有效收集光电流的同时具有对紫外光的高透明度,进一步地,针对将两个不同的接触设置为垂直结构适合与硅基读出电路集成从而制成探测阵列,为实现日盲光的高分辨成像提供条件。
基本信息
专利标题 :
一种日盲光探测器以及成像装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114361269A
申请号 :
CN202210037978.X
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2022-01-13
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
蒋彤孔玮李军帅
申请人 :
西湖大学
申请人地址 :
浙江省杭州市西湖区转塘街道石龙山街18号
代理机构 :
北京金信知识产权代理有限公司
代理人 :
范继晨
优先权 :
CN202210037978.X
主分类号 :
H01L31/0224
IPC分类号 :
H01L31/0224 H01L31/032 H01L31/108
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/0224
申请日 : 20220113
申请日 : 20220113
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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