一种薄膜体声波谐振器及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本申请提供一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，涉及滤波器技术领域，包括：衬底以及依次层叠设置于衬底上的下电极、压电层、上电极和电容结构，电容结构与上电极连接，由于电容结构直接以层叠的方式设置于上电极上，因此，能够避免因为引入电容结构从而增大占用面积所导致的封装困难。由于引入电容结构，因此，能够显著增强体声波滤波器的带外抑制特性，同时，通过电容结构与薄膜体声波谐振器进行连接，还能够有效减少外接电路引入的性能损耗。在利用薄膜体声波谐振器搭建滤波器时，可以使得多个薄膜体声波谐振器以串联、并联的方式连接在一起即可，无需形成拓扑结构，有效降低了制备难度。
基本信息
专利标题 ：
一种薄膜体声波谐振器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114362717A
申请号 ：
CN202210027321.5
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2022-01-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
龙开祥孙博文国世上蔡耀孙成亮刘炎罗天成
申请人 ：
武汉敏声新技术有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖新技术开发区花城大道9号武汉软件新城三期D7栋4层01号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
严小艳
优先权 ：
CN202210027321.5
主分类号 ：
H03H9/17
IPC分类号 ：
H03H9/17 H03H9/02 H03H3/02
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/17
申请日 : 20220111
申请日 : 20220111
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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