本发明公开一种改进的掺杂反应装置，包括上盖、气体产生坩埚和掺杂反应坩埚。通过位于掺杂反应坩埚内的气体产生坩埚临时制备掺杂反应所需的气体，不需要额外的气体产生装置或存储装置；通过上盖的抽真空通道在掺杂反应前将反应腔室抽真空或进一步通入惰性气体，以保证掺杂反应时气体氛围的纯净性；通过发条机构驱动的搅拌装置能够在高温环境中对掺杂反应物进行搅拌，以使反应充分进行；反应结束后可通过抽真空通道收集装置内的废气，进行处理；本发明装置结构简单、成本较低、使用方便，能够用于制备高纯度的掺杂反应物。