集成电路加工用定位机构
授权
摘要
本实用新型公开一种集成电路加工用定位机构,其一端与齿轮啮合的齿条的另一端自支撑壳内向外延伸出并与支撑壳的侧壁滑动配合,齿轮通过一竖直设置的转轴可转动地安装于工作台上,齿轮上表面开设有至少2个沿圆周方向等间隔设置的弧形通槽,载板上开设有与弧形通槽对应的、沿径向方向延伸的矩形通槽,一竖直设置的直杆的下端嵌入弧形通槽内并与弧形通槽的内壁滑动配合,直杆的上端穿过对应的矩形通槽并安装有一卡块,至少2个与载板上表面滑动配合的卡块之间形成供待加工基板放入的夹持区。本实用新型在提高基板位置精度的同时,保证了加工产品的品质,还可以实现对不同尺寸的基板进行固定。
基本信息
专利标题 :
集成电路加工用定位机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123419182.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
CN216504692U
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
马磊党鹏杨光彭小虎王新刚庞朋涛任斌王妙妙
申请人 :
西安航思半导体有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市鄠邑区吕公路东段西户科技企业孵化器C3号楼
代理机构 :
北京棘龙知识产权代理有限公司
代理人 :
聂颖
优先权 :
CN202123419182.0
主分类号 :
B25B11/00
IPC分类号 :
B25B11/00 B25H1/08
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B25
手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手
B25B
不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备
B25B11/00
不包含在B25B1/00至B25B9/00各组中的工件夹持装置或定位装置,例如,磁性工件夹持装置、真空夹持装置
法律状态
2022-05-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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