一种用于微波蚀刻设备的测温机构
授权
摘要
本实用新型提供的用于微波蚀刻设备的测温机构，微波蚀刻设备包括送料机构与蚀刻设备，送料机构的出料口对接于蚀刻设备的进料口，测温机构包括测温传感器与固定件，固定件包括依次布置的第一回转部、第二回转部与第三回转部，第一回转部与第三回转部的外径均大于第二回转部的外径，测温传感器抵接于第一回转部，第三回转部可拆卸地固定连接于蚀刻设备的顶板；测温传感器的探测部穿过固定件的内腔，内腔连通蚀刻设备的容纳腔。电路板进入容纳腔以进行蚀刻，测温传感器的探测部插入于固定件的内腔，内腔连通蚀刻设备的容纳腔，测温传感器对容纳腔内的蚀刻温度进行实时监测，当蚀刻温度不处于预设范围内时，可及时发出警报，防止出现蚀刻不良品。
基本信息
专利标题 ：
一种用于微波蚀刻设备的测温机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123298985.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-23
授权号 ：
CN216669049U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
李志强廖文晗赵义党
申请人 ：
珠海恒格微电子装备有限公司
申请人地址 ：
广东省珠海市横琴新区宝华路6号105室-63474（集中办公区）
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
李宇亮
优先权 ：
CN202123298985.5
主分类号 ：
G01K11/00
IPC分类号 ：
G01K11/00 G01K1/08 G01K1/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01K
温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件
G01K11/00
不包括在G01K3/00，G01K5/00，G01K7/00或G01K9/00各组的以物理或化学变化为基础的温度测量
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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