一种三甲基铝蒸发输送装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种三甲基铝蒸发输送装置,包括蒸发柜本体、压力表、第一输送管,所述第一输送管的一侧设置有卡板,所述卡板的一侧设置有推送机构,所述推送机构包括第二输送管,所述第二输送管的内部设置有第三输送管,所述第三输送管的一端固定设置有液压杆,所述液压杆的输出端设置有密封板,所述密封板与第三输送管密封滑动连接,所述第三输送管的一端设置有预紧机构,本实用新型的目的在于提供一种三甲基铝蒸发输送装置,可以使三甲基铝输送完全,避免三甲基铝残留在第三输送管的内部,导致混合气体的比例出现误差,影响正常工作,另外在连接处具有预紧机构,避免连接处松动,出现泄漏情况,造成事故。
基本信息
专利标题 :
一种三甲基铝蒸发输送装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123032127.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-29
授权号 :
CN216202552U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
孟庆典刘任飞
申请人 :
南大光电半导体材料有限公司
申请人地址 :
安徽省滁州市全椒县十字镇十谭产业园新城大道117号
代理机构 :
广州高炬知识产权代理有限公司
代理人 :
薛鹏
优先权 :
CN202123032127.6
主分类号 :
F17D1/08
IPC分类号 :
F17D1/08 F17D3/01 F17D1/12 F17D5/00 F17D5/06
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17D
管道系统;管路
F17D
管道系统;管路
F17D1/00
管道系统
F17D1/08
用于液体或黏性物质的
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载