一种涡轮分子泵叶片、涡轮转子及涡轮分子泵
授权
摘要
本实用新型涉及涡轮分子泵技术领域，具体涉及一种涡轮分子泵叶片、涡轮转子及涡轮分子泵。涡轮分子泵叶片，叶片本体的压力面与吸力面均为曲面，所述叶片本体的厚度从根部向顶部逐渐减小，所述叶片本体根部的叶片厚度为3.5mm－4.5mm，所述叶片本体顶部的叶片厚度为1.5mm－2.5mm，所述叶片本体的进口角为25°－35°，所述叶片本体的出口角为40°－50°，所述叶片本体的叶片倾角为0°－20°。设计为较小的进口角度和较大的出口角度，能够提高对被抽气体捕捉能力、排出能力及反向阻止回流能力。在其他参数相同的情况下，能够提高涡轮分子泵的抽速和压缩比，能够大大提升涡轮分子泵在低压工况下的抽气能力。
基本信息
专利标题 ：
一种涡轮分子泵叶片、涡轮转子及涡轮分子泵
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123030189.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-03
授权号 ：
CN216477913U
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
温福强张亮陈林
申请人 ：
北京中科九微科技有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区科创十四街99号33幢D栋2层2167号(集中办公区）
代理机构 ：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 ：
向长松
优先权 ：
CN202123030189.3
主分类号 ：
F04D19/04
IPC分类号 ：
F04D19/04 F04D29/38 F04D29/32
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04D
非变容式泵
F04D
非变容式泵
F04D19/00
专门适用于弹性流体的轴流泵
F04D19/02
多级泵
F04D19/04
专门适用于产生高真空，例如分子泵
法律状态
2022-05-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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