一种气液分离式排废气装置
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摘要
本实用新型属于涂胶显影机配件领域，具体地说是一种气液分离式排废气装置，包括排风管道、自动排气阀、排风盒及气液分离板，气液分离板部分插设于排风盒中，排风盒的一端与排风管道连通、另一端与自动排气阀的输入端密封连通，排风盒与自动排气阀之间通过连接边沿、卡接边沿、密封垫B及紧固螺钉的配合设置进行组装。本实用新型通过排风盒及气液分离板的配合设置，可使较多的溶剂或光刻胶残留物留在排风盒内，且气液分离板拆装方便；通过连接边沿、卡接边沿、密封垫B及紧固螺钉的配合设置，方便排风盒与自动排气阀之间的拆装，且密封效果好。本实用新型可避免较多的溶剂或光刻胶残留物进入并存留在自动排气阀中，整体拆装清理更方便。
基本信息
专利标题 ：
一种气液分离式排废气装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123003390.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-02
授权号 ：
CN216630228U
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
郭绪斌史雅君
申请人 ：
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请人地址 ：
辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
代理机构 ：
沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人 ：
白振宇
优先权 ：
CN202123003390.2
主分类号 ：
B01D53/00
IPC分类号 ：
B01D53/00 B01D5/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
法律状态
2022-05-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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