本实用新型涉及缺陷检测领域，特别地涉及一种透明介质薄层的缺陷检测装置。本实用新型公开了一种透明介质薄层的缺陷检测装置，包括光源单元、固定机构和光电探测器，固定机构用于固定待测透明介质薄层，光源单元用于提供一入射光，以全反射角或大于全反射角入射至待测透明介质薄层的表面，光电探测器用于探测待测透明介质薄层是否有对应于该入射光的漫散射光出射。本实用新型可以有效可靠地检测出透明介质薄层中的细微缺陷，操作便捷，检测速度快，效率高，节省大量人力成本，且结构简单，成本低。