本实用新型公开了一种用于半导体清洗设备的排水装置，其包括外壳，外壳内部的底端固定设置有电动机与抽水机，抽水机的输出端穿过外壳的侧壁与出水管固定连接；抽水机的输入端穿过隔断板；隔断板横向固定设置在外壳的内部，外壳的内壁固定设置有第一肋柱以及第二肋柱；第一肋柱的上端设置有第一过滤网；第二肋柱的上端设置有第二过滤网；外壳上端的侧壁内部贯通连接有进水管；出水管远离外壳的一端内部贯通连接有进水头；进水头的内部开设有进水口；进水头的一端固定设置有清洁头；本实用新型结构简单，便于更换，具备较好的过滤功能，可以有效降低废水中的污染物的含量，且可以多次利用清洗液，达到充分利用清洗液的目的。