显影液浓度控制设备
授权
摘要
本申请公开了一种显影液浓度控制设备，包括显影液存储罐、显影液使用装置及控制单元。显影液存储罐连接有第一浓度显影液供液管道及第二浓度显影液供液管道，第二浓度显影液供液管道的第一区段连接有负反馈控制管道，负反馈控制管道的两端分别与第一区段的两端连接，负反馈控制管道上设置有负反馈控制阀，第一区段设置有前馈控制阀，显影液存储罐内设置有搅拌装置。显影液使用装置连接有显影液使用装置进液管道及显影液使用装置回液管道，显影液使用装置通过显影液使用装置进液管道及显影液使用装置回液管道与显影液存储罐连接。负反馈控制阀及前馈控制阀与控制单元电性连接。可以提高显影液浓度整体控制的精度，提高显影液浓度控制的稳定性。
基本信息
专利标题 ：
显影液浓度控制设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122625435.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-29
授权号 ：
CN216286157U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
张仁海张运杰
申请人 ：
河南省华锐光电产业有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市航空港经济综合实验区华夏大道以西，志洋路以南
代理机构 ：
北京同达信恒知识产权代理有限公司
代理人 ：
卢志娟
优先权 ：
CN202122625435.3
主分类号 ：
G03F7/32
IPC分类号 ：
G03F7/32 G03F7/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
G03F7/32
所用的液体成分，例如，显影剂
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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