晶圆卡盘暂存冷却用水冷盘
授权
摘要
本实用新型晶圆卡盘暂存冷却用水冷盘，包括底板，底板上一体焊接中空的盖板，所述水冷盘内部设置有蛇形流道，所述蛇形流道的若干圈流道平行等距布置且均与盖板同轴，所述蛇形流道与外部进水管路、出水管路之间流通有冷却水，所述冷却水对位于所述水冷盘上的晶圆卡盘进行冷却。其目的在于提供一种晶圆卡盘能够得到均匀冷却且有效降低因冷却速率差引起晶圆卡盘热应力的产生的晶圆卡盘暂存冷却用水冷盘。
基本信息
专利标题 ：
晶圆卡盘暂存冷却用水冷盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122617656.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-29
授权号 ：
CN216361458U
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
姜保彧王超星
申请人 ：
北京华卓精科科技股份有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）
代理机构 ：
北京头头知识产权代理有限公司
代理人 ：
白芳仿
优先权 ：
CN202122617656.6
主分类号 ：
F25D1/02
IPC分类号 ：
F25D1/02 H01L21/673
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F25
制冷或冷却；加热和制冷的联合系统；热泵系统；冰的制造或储存；气体的液化或固化
F25D
冷柜；冷藏室；冰箱；其他小类不包含的冷却或冷冻装置
F25D
冷柜；冷藏室；冰箱；其他小类不包含的冷却或冷冻装置
F25D1/00
应用天然冷空气或水的设备
F25D1/02
应用天然冷水，例如普通自来水
法律状态
2022-04-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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