一种无损切割晶体硅片的专用装备
授权
摘要

本实用新型提供一种无损切割晶体硅片的专用装备,属于晶体硅技术领域,该无损切割晶体硅片的专用装备包括放置台,放置台的上端设有激光安装座板,激光安装座板的上端设有输送线支撑板,在需要对硅片进行加工切割时,可以将其放置在料盒内,而后通过皮带将其传输至上料升降气缸和载台感应处位置,这时料盒到位检知感知到硅片的存在便会启动步进丝杠电机使其将升降板顶升至到料检测对射处,而后通过激光横移模组、激光安装座板和激光模块便可以将硅片进行切割,通过这样的方式使得硅片可以得到完全自动的切割,并且本装置的结构较少,利于后续进行维修,并且提高硅片的切割精度。

基本信息
专利标题 :
一种无损切割晶体硅片的专用装备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122541901.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-21
授权号 :
CN216264095U
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
王永锋
申请人 :
鑫晟智能装备(苏州)有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市苏州工业园区亭融街9号2号厂房二层南区
代理机构 :
南京乐羽知行专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
缪友建
优先权 :
CN202122541901.X
主分类号 :
B23K26/38
IPC分类号 :
B23K26/38  B23K26/402  B23K26/70  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/38
用于打孔或切割
法律状态
2022-04-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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