一种半导体芯片烘干装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体芯片烘干装置,包括箱体、风机、挡板、烘干板机构,箱体顶部为倒漏斗状,箱体前部设有箱门,箱体外壁底部固定有风机,风机上的进气管和排气管分别延伸至箱体的底部和顶部,箱体两侧内壁上均自上而下等距设置有滚轮槽,烘干板机构的两侧分别设置于两个相对应的滚轮槽内;烘干板机构由烘干板、滚轮组成,烘干板上等距开设有放置槽,放置槽之间开设有第二通孔,烘干板底部的四个边角处均轴接有滚轮,滚轮沿滚轮槽推入箱体内;挡板设置于烘干板机构的正上方的箱体内,且挡板上开设有第一通孔。
基本信息
专利标题 :
一种半导体芯片烘干装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122539143.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-21
授权号 :
CN216620485U
授权日 :
2022-05-27
发明人 :
白俊春
申请人 :
江苏晶曌半导体有限公司
申请人地址 :
江苏省徐州市邳州市高新技术产业开发区太湖大道西侧、富美路北侧
代理机构 :
北京中政联科专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李延峰
优先权 :
CN202122539143.8
主分类号 :
F26B9/06
IPC分类号 :
F26B9/06 F26B21/04 F26B25/00 F26B25/12
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B9/00
静态下或只是局部摇动干燥固体材料或制品的机器或设备;家用晾晒柜
F26B9/06
在固定的筒或室内
法律状态
2022-05-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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