本实用新型提供了一种晶圆保持器的安装检具，所述安装检具的主体呈圆环形结构，所述圆环形结构的中间位置设有通孔，所述通孔分为上部通孔和下部通孔，前者的直径大于后者，使得安装检具的内环形成阶梯结构，阶梯平面上设有至少三个腰形凸起，腰形凸起均匀位于同一圆周上；所述圆环形结构的环形侧壁上设有贯穿外壁和上部通孔内壁的侧孔，侧孔的数量至少为三个，沿环形侧壁均匀分布。本实用新型所述安装检具根据晶圆保持器的结构进行设计，采用检具对晶圆保持器的整体结构尺寸及其上相应结构的位置等特征进行检测，保证晶圆保持器结构尺寸的精确性，使之安装时能够与溅射机台的结构相匹配，无需返工操作，降低生产成本，提高客户满意度。