本实用新型提供了一种自动清洗设备的防撞保护结构，包括：设备本体，该设备本体包括：沿第一方向水平设置的至少一个槽体；至少两个搬移机构，设置在槽体一侧，沿第一方向水平运动；其中，在相邻的两个搬移机构之间设置有一红外对射感应装置。本实用新型提供的自动清洗设备的防撞保护结构，通过在搬移机构与搬移机构、搬移机构与设备主体之间安装对应的红外发射装置和红外接收装置，构成多组红外对射感应装置，实现感应搬移机构与搬移机构、搬移机构与设备主体之间是否有物体或人员并在出现异常时反馈工控机控制搬移机构停止，从而实现半导体器件清洗作业过程对清洗设备、搬移机构及人员、物品安全提供保护。