一种在线热氧上料设备
授权
摘要
本实用新型所述的一种在线热氧上料设备，所述在线热氧上料设备前端对接激光下料设备，后端对接硅片热氧设备，包括硅片上料检测部分、硅片重组存储部分、硅片流出部分，上料检测部分用于接收上一工序的来料并完成自动检测，硅片重组存储部分用于将合格的硅片进行重新排列，硅片流出部分用于将排列后的硅片流入下一工序。本实用新型的在线热氧上料设备，对前端工序和后端工序进行无缝衔接，省略传统技术中花篮的转运过程，提高生产效率，减少运输损耗，降低生产成本，提高整体的生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种在线热氧上料设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122327630.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-24
授权号 ：
CN216354107U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
蒋旭东张弛王志刚顾建王四海
申请人 ：
南京卓胜自动化设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市雨花台区龙藏大道9号一层
代理机构 ：
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
高艳敏
优先权 ：
CN202122327630.8
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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