本实用新型公开了一种半导体晶圆检测用高效抗干扰的检测仪，包括底板，所述底板顶部的中端固定连接有限位柱，所述限位柱顶部的中端固定连接有气缸，所述气缸的输出端固定连接有凸起，所述限位柱顶部的两侧通过连接板固定连接有放置板。本实用新型通过过滤箱的顶部固定安装有风机，风机的输出端固定连接有波纹管，波纹管的输出端固定连接有增压泵，增压泵的输出端固定连接有气枪，起到了高压吹气的效果，从而可有效的将颗粒以及灰尘等杂物吹离，进而提高了抗灰尘以及颗粒干扰的目的，解决了现有的检测仪存在不具备高效抗颗粒干扰的功能，从而容易因为颗粒导致晶片倾斜，进而造成检测数据不准确，还容易导致晶片损坏的问题。