一种晶圆切割工作台
授权
摘要
本实用新型提供一种晶圆切割工作台，所述工作台包括固定工作台和第一活动工作台；其中，所述固定工作台的底部中间部位设有T型槽，所述第一活动工作台呈“工”字型结构，其包括与所述T型槽结构互补的T型连接部和位于所述T型连接部下方的底板，所述底板用于连接晶棒；所述第一活动工作台可一段或更多段并列地安装在所述固定工作台的T型槽中。该晶圆切割工作台通过将传统工作台分割两个部分，其上部为固定工作台，下部为活动工作台，该晶圆切割工作台可解决现有工作台的荷重问题，仅需拆卸活动工作台即可实现晶棒的装载和卸载。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆切割工作台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122143659.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-06
授权号 ：
CN216400147U
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
莫康周志豪王海呈李贤途刘亚彬李志宇
申请人 ：
福建晶安光电有限公司
申请人地址 ：
福建省泉州市安溪县湖头镇横山村光电产业园
代理机构 ：
北京金咨知识产权代理有限公司
代理人 ：
尤樟华
优先权 ：
CN202122143659.0
主分类号 ：
B28D7/00
IPC分类号 ：
B28D7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D7/00
专门适用于与本小类其他各组的机械或其装置一起使用的附件
法律状态
2022-04-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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