本实用新型公开一种零压式微压机构，包括平台、下载盘、机架、电缸、转接板、压力传感器、模板、上载盘、导套、导柱，所述平台表面设置有下载盘，所述下载盘的正上方位置架设有机架，所述机架上表面竖直向下正对所述下载盘设置一电缸，所述电缸下端水平连接转接板，所述转接板底面安装有压力传感器，所述压力传感器下端连接模板，所述模板底面安装上载盘，所述机架镶嵌导套，所述模板通过导柱活动套接导套。通过上述方式，本实用新型提供一种零压式微压机构，在所述电缸下压加载过程中，所述压力传感器实时采集上载体与电缸间的压力数值，并依据压力数值来控制电缸的启停，以达到上载盘与下载盘的零压接触，能有效保证晶圆解键合操作的安全性。