一种具有低边缘粗糙度的ArF光刻胶
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种具有低边缘粗糙度的ArF光刻胶，其特征在于包括按质量百分表计的下列组份：ArF光敏剂(0.01‑0.1％)；丙二醇甲醚醋酸酯(90‑95％)；丙烯酸树脂(4‑8％)；淬灭剂(0.001‑0.01％)；添加剂(0.01‑0.1％)；其中，原料中的各组分总金属离子小于100ppb。
基本信息
专利标题 ：
一种具有低边缘粗糙度的ArF光刻胶
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114326305A
申请号 ：
CN202111676666.5
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
马潇陈鹏卢汉林夏力顾大公岳力挽张宇陈阳许从应毛智彪周浩杰
申请人 ：
宁波南大光电材料有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市北仑区柴桥街道青山路21号
代理机构 ：
深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
左光明
优先权 ：
CN202111676666.5
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/004
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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