本申请公开了一种磁场传感器、制作工艺及其磁场检测方法，所述磁场检测方法包括以下步骤：制作样本磁场传感器，其中所述样本磁场传感器中的磁感应器件为霍尔棒结构；标定所述样本磁场传感器的霍尔电阻与各分量磁场强度的标准变化曲线；将磁性单元与所述样本磁场传感器集成得到标准磁场传感器；检测所述标准磁场传感器的实测霍尔电阻，根据所述实测霍尔电阻查询所述标准变化曲线，确定所述磁性单元的各实测分量磁场强度。本申请解决了现有技术对微型磁性单元进行高精度三维磁场探测效果差的技术问题，大大提高了对芯片内的微型磁性单元进行三维磁场探测的准确性和精确度。