本发明涉及一种塑封高压硅堆内部X线拍摄检查工艺，所述工艺：先将模压后塑封高压硅堆半成品排布于木制排列板上，再将相纸及排列板一起放于软X线装置内部进行拍摄，对相纸进行显影、定影，并对照样片进行检查；所述软X线装置采用的快速显影液为由无水亚硫酸钠、几奴尼、溴化钾、氢氧化钾、菲尼酮、防灰剂以及水组成；所述软X线装置采用的快速定影液由硫代硫酸钠、氯化铵、无水亚硫酸钠、醋酸、硼酸、铝钾钒以及水组成。导入X线检查工艺，利用X线对塑封高压硅堆内部结构进行检查，剔除内部结构缺陷品，消除出厂产品的质量隐患，提高器件的可靠性；并且研制出与拍摄X线相纸相匹配的快速定影液、快速显影液。