一种免清洗托盘
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种免清洗托盘，包括：第一托盘，第二托盘；所述第一托盘用于承载电池片进出PECVD设备，所述第二托盘铺设于所述第一托盘的上端表面，所述第二托盘开设有若干用于放置片状元件的镂空空腔，所述第二托盘能够对所述第一托盘的表面进行遮挡，所述第一托盘为玻璃托盘，所述第二托盘为薄云母片或陶瓷片，所述第二托盘直接参与工艺镀膜。通过本发明的公开，可以解决玻璃托盘膜层去除问题，提高玻璃托盘的使用寿命，降低异质结电池托盘的使用成本，由于玻璃透明，难以施加光学定位点，硅片的定位精度难以保证，第二托盘的使用，容易增加定位点，便于视觉系统的实施，利于自动化生产的开展。
基本信息
专利标题 ：
一种免清洗托盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114334752A
申请号 ：
CN202111645102.5
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
马世猛代智杰周广福
申请人 ：
苏州昶明微电子科技合伙企业（有限合伙）
申请人地址 ：
江苏省苏州市自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区星明街288号星明大厦235室
代理机构 ：
北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄照
优先权 ：
CN202111645102.5
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/673
申请日 : 20211229
申请日 : 20211229
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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