用于贴标机的检测模组及贴标机
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种用于贴标机的检测模组及贴标机,包括:检测台、夹持单元、两个图像采集单元和图像分析单元;夹持单元设于检测台,夹持单元适于夹持晶圆以带动晶圆在第一方向移动;两个图像采集单元在第二方向上间隔开设置在检测台上,在第二方向上,两个图像采集单元分别位于夹持单元在第二方向上的两侧,两个图像采集单元分别采集晶圆在第二方向上的不同区域的图像信息,第一方向垂直于第二方向。根据本发明实施例的用于贴标机的检测模组,检测模组自动化程度,控制智能化,能够对每个所要检测的晶圆实现精确定位控制,且响应速度快和系统的动态性能好。设备整体结构紧凑、集成度较高,工作过程智能,数据化。

基本信息
专利标题 :
用于贴标机的检测模组及贴标机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114388408A
申请号 :
CN202111637227.3
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2021-12-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
娄锋
申请人 :
合肥钛柯精密机械有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市高新区创新大道106号明珠产业园2栋B区4层
代理机构 :
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
黄德海
优先权 :
CN202111637227.3
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  G06T7/00  G06T1/00  B65C9/00  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20211229
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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