一种料盒的辅助定位机构
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种料盒的辅助定位机构，可应用于板类或盘类产品尤其是晶圆产品的贮存取放作业中；该料盒的辅助定位机构包括驱动组件和料盒上的偏心立柱，所述料盒包括顶板和底板，所述偏心立柱两端分别活动连接所述顶板和底板；所述驱动组件用于驱动所述偏心立柱旋转使得所述料盒内产品与偏心立柱之间留有用于机械手抓取产品的间隙。本发明的料盒的辅助定位机构结构简单，运动灵活，稳定性高，合理利用放置料盒的驱动动力或重力，节约成本，通过在料盒上安装偏心立柱，利用驱动组件在料盒放置过程中使偏心立柱旋转，与料盒内产品保持间隙，在料盒取出后偏心立柱自动复位。
基本信息
专利标题 ：
一种料盒的辅助定位机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114446848A
申请号 ：
CN202111630115.5
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陆姜鹏肖治祥朱涛
申请人 ：
苏州精濑光电有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道淞苇路668号
代理机构 ：
江苏坤象律师事务所
代理人 ：
孙云洁
优先权 ：
CN202111630115.5
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/677
申请日 : 20211228
申请日 : 20211228
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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