基于离轴积分腔的气相过氧化氢浓度检测系统，属于气体检测技术领域。解决了现有气相H₂O₂浓度检测系统存在体积庞大、且检测精度低的问题。本发明信号发生器产生一个高频正弦波和低频锯齿波信号叠加而成的控制信号，驱动器利用控制信号驱动激光器输出稳定调制波长的激光。使激光器输出的激光分成两束，一束激光作为参考光经过被检测气体后进行光电探测，另一束激光作为探测光入射离轴积分腔中，被离轴积分腔中被检测气体后进行光电探测，两束光均被被检测气体中气相H₂O₂和气相H₂O的吸收峰吸收，利用参考光电信号对探测光电信号进行补偿，完成气相H₂O₂浓度检测。本发明主要用于对气相H₂O₂浓度进行检测。