利用超临界二氧化碳聚合光刻胶树脂的方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开的一种利用超临界二氧化碳聚合光刻胶树脂的方法,包括以下步骤:步骤S01:准备好反应容器,将甲基丙烯酸单体以及引发剂投入至反应容器中;步骤S02:通过真空泵将反应容器内空气排出,再补充CO2,反复三次,使釜内充分CO2气氛;步骤S03:加热反应容器至60℃‑100℃,并加入0‑20MPa压力的CO2进行聚合反应;步骤S04:反应结束,冷却反应容器,排出二氧化碳,将产物进行GPC测试。该方法能有效避免有溶剂干扰。

基本信息
专利标题 :
利用超临界二氧化碳聚合光刻胶树脂的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114316123A
申请号 :
CN202111627112.6
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈鹏卢汉林马潇顾大公毛智彪许从应
申请人 :
宁波南大光电材料有限公司
申请人地址 :
浙江省宁波市北仑区柴桥街道青山路21号
代理机构 :
深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
左光明
优先权 :
CN202111627112.6
主分类号 :
C08F220/14
IPC分类号 :
C08F220/14  C08F220/18  C08F2/00  G03F7/004  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C08
有机高分子化合物;其制备或化学加工;以其为基料的组合物
C08F
仅用碳-碳不饱和键反应得到的高分子化合物
C08F220/00
具有1个或更多不饱和脂族基化合物的共聚物,每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键,并且只有1个是仅以羧基或它的盐、酐、酯、酰胺、酰亚胺或腈为终端
C08F220/02
具有少于10个碳原子的一元羧酸;它的衍生物
C08F220/10
C08F220/12
一元醇或酚的
C08F220/14
甲酯
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C08F 220/14
申请日 : 20211228
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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