本发明涉及半导体领域，具体公开了一种机械手零点位置自动校准的方法及机械手传输位置校准的方法，包括以下步骤：对第X组机械臂上转轴的零点位置进行校准；包括以下步骤：驱动所述机械上臂朝靠近所述机械下臂的方向运动；获取所述第一激光器、第二激光器之间收发的激光强度，并判断所述激光强度的高低；确定所述激光强度达到预设最高值并记录此时所述步进马达的步数S_x，将步数S_x作为所述转轴校准后的零点位置，其中，N为正整数，X选自1至N的正整数。本申请通过在机械上臂设置第一激光器、机械下臂设置第二激光器，根据激光强度实现对零点位置的校准，减少零点位置校准的时间和大幅提高零点位置校准精度。