一种复眼单元工作环境模拟及性能评估系统及其使用方法
实质审查的生效
摘要
一种复眼单元工作环境模拟及性能评估系统及其使用方法,属于精密仪器以及精密测量技术领域,本发明为了解决现有技术中缺乏针对复眼单元性能测试及其稳定测试环境构建设备的问题,本发明所述的评估系统包括真空单元、温控单元、隔振底座、测量单元和复眼单元,同时考虑了复眼单元的真空和高温的工作环境。在真空环境模拟系统中,利用真空泵和真空规管组成闭环系统,同时在温控系统中利用温度传感器的电热膜、水冷板组成闭环系统,保证复眼单元所处环境的真空度和温度在目标值在一定的误差范围内,满足测试要求,同时采用了一种基于光敏位移传感器的测量系统,相比于利用干涉仪的测量系统,简化了系统组成,进一步提高了测量精度。
基本信息
专利标题 :
一种复眼单元工作环境模拟及性能评估系统及其使用方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114264448A
申请号 :
CN202111541828.4
公开(公告)日 :
2022-04-01
申请日 :
2021-12-16
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
赵鹏越晏祯卓吴剑威李昌其赵博
申请人 :
哈尔滨工业大学
申请人地址 :
黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202111541828.4
主分类号 :
G01M11/00
IPC分类号 :
G01M11/00 G01B11/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/00
光学设备的测试;其他类目未包括的用光学方法测试结构部件
法律状态
2022-04-19 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 11/00
申请日 : 20211216
申请日 : 20211216
2022-04-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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