利用E-T型二次电子探测器获得扫描成像固定装置及其方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了利用E‑T型二次电子探测器获得扫描成像固定装置及其方法,包括第一组件、第二组件、螺丝和铜网样品,所述第二组件上设有一排锁紧孔和一排凹槽;所述第一组件上设有样品放置槽,其中铜网样品放置在每个所述样品放置槽上,其中螺丝穿过对应的锁紧孔将第二组件固定在所述第一组件的顶部。所述方法将铜网透射样品置于凹槽型样品台中,通过凹槽型设计与物镜极靴底部形成相对闭合空间来抑制E‑T型二次电子探测器从样品上表面获得表面信息,从而达到扫描透射成像的目的。本发明所述方法工艺简单、成像效果好、可重复性强,适用于各种扫描电子显微镜。

基本信息
专利标题 :
利用E-T型二次电子探测器获得扫描成像固定装置及其方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114429894A
申请号 :
CN202111538506.4
公开(公告)日 :
2022-05-03
申请日 :
2021-12-15
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
戴志晖王雷朱钦舒
申请人 :
南京师范大学
申请人地址 :
江苏省南京市栖霞区文苑路1号
代理机构 :
南京众联专利代理有限公司
代理人 :
薛雨妍
优先权 :
CN202111538506.4
主分类号 :
H01J37/244
IPC分类号 :
H01J37/244  H01J37/20  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/244
检测器;所采用的组件或电路
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/244
申请日 : 20211215
2022-05-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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