一种PERC太阳能电池的背面开槽方法及结构
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种PERC太阳能电池的背面开槽方法及结构，背面开槽方法包括以下步骤：在中央晶体硅片的一面生长氮化硅薄膜层；通过20000‑35000mm/s的打标速度以及800‑1100KHz的频率的激光对所述氮化硅薄膜层作激光消融处理，缩窄背面激光背电极镂空宽度为半镂空，并控制所述氮化硅薄膜层上的激光开孔率为1.22％或者控制所述氮化硅薄膜层上的需实比为0.4:0.6。本发明相比于常规激光开槽工艺，具有低开孔率及增加银铝合金与硅片接触效果，此种开槽新工艺能够取得意想不到的效果，采用此种背面开槽工艺能够大幅增加背面钝化膜面积，从而提升转换效率。
基本信息
专利标题 ：
一种PERC太阳能电池的背面开槽方法及结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114267742A
申请号 ：
CN202111530288.X
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2021-12-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
褚君凯王路路穆晓超赵文贵王彦杰陈宇阳周钦龙
申请人 ：
晋能清洁能源科技股份公司
申请人地址 ：
山西省吕梁市文水县经济开发区1号
代理机构 ：
山西晋扬知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张学元
优先权 ：
CN202111530288.X
主分类号 ：
H01L31/0224
IPC分类号 ：
H01L31/0224 H01L31/0236
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/0224
申请日 : 20211214
申请日 : 20211214
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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