利用稀疏脉冲的MEMS致动设备
公开
摘要
公开了利用稀疏脉冲的MEMS致动设备。一种操作MEMS设备的方法，包括：生成MEMS驱动信号；以及基于控制信号生成和修改MEMS驱动信号以产生修改后的驱动信号。该方法还包括通过确定来自MEMS设备的反馈信号何时处于其峰值来生成控制信号，当反馈信号为其峰值时将峰值与期望值进行比较，以及根据峰值是否至少等于期望值来生成控制信号。基于控制信号修改MEMS驱动信号以生成修改后的驱动信号包括当控制信号指示峰值至少等于期望值时跳过修改后的驱动信号的下一脉冲的生成。
基本信息
专利标题 ：
利用稀疏脉冲的MEMS致动设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114620670A
申请号 ：
CN202111498120.5
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2021-12-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
D·特兹
申请人 ：
意法半导体股份有限公司
申请人地址 ：
意大利阿格拉布里安扎
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
黄海鸣
优先权 ：
CN202111498120.5
主分类号 ：
B81B7/00
IPC分类号 ：
B81B7/00 B81B7/02 G02B26/08
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B7/00
微观结构系统
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
