一种微针上稳定疏水耐磨涂层的制备方法
公开
摘要
本发明涉及微针的表面防护领域，为解决现有现有技术下微针表面涂层均匀性、稳定性较差，机械强度不高，对微针的防护效果较差的问题，公开了一种微针上稳定疏水耐磨涂层的制备方法，包括以下步骤：1）微针基底预处理；2）靶材预处理；3）磁控溅射过渡层；4）磁控溅射疏水涂层。本发明中涂层的致密性、均匀性好，不影响微针使用并且能有效提升微针表面的化学稳定性、机械强度以及疏水效果，减少生物黏附、污染，涂层与微针基底的结合力好，防护时间长，同时本发明的涂层方法对微针材质兼容性好，可以实现在柔性、刚性、有机、无机等各种微针衬底上涂层。
基本信息
专利标题 ：
一种微针上稳定疏水耐磨涂层的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114592174A
申请号 ：
CN202111492234.9
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2021-12-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张雪峰张鉴石振
申请人 ：
杭州电子科技大学
申请人地址 ：
浙江省杭州市杭州经济开发区白杨街道2号大街1158号
代理机构 ：
杭州杭诚专利事务所有限公司
代理人 ：
李博
优先权 ：
CN202111492234.9
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/02 C23C14/14 C23C14/08
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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