本发明公开了一种光电器件的扫描驱动系统及方法，包括扫描信号生成模块、扫描信号放大模块和上位机程序控制模块；所述的扫描信号生成模块包括FPGA和D/A转换电路，所述FPGA包括相位寄存器、相位累加器、ROM及FPGA控制模块，所述的扫描信号放大模块包括高压放大电路以及用于为高压放大电路供电的高压电源模块；首先通过上位机程序控制模块的界面操作，通过串口给相位寄存器发送频率控制字和相位控制字，通过相位累加器累加生成地址码将ROM中波形数据提取为二进制扫描数据，然后FPGA控制模块完成对D/A转换电路的控制，把ROM提取的二进制扫描数据模数转换并LPF滤波生成扫描信号，最后扫描信号通过高压放大电路放大，实现可驱动光电器件的扫描功能。