支撑单元和包括该支撑单元的基板处理装置
公开
摘要
本发明构思提供一种基板支撑单元，包括：卡盘，其支撑并旋转基板；和灯单元，其设置在基板下方以加热基板，其中灯单元包括第一灯，该第一灯在其表面上具有反射层以阻挡和/或反射从第一灯发射但未导向至基板的光以将光导向至基板。
基本信息
专利标题 ：
支撑单元和包括该支撑单元的基板处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114597158A
申请号 ：
CN202111479348.X
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2021-12-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
尹嫝燮金喆求崔重奉宋修汉
申请人 ：
细美事有限公司
申请人地址 ：
韩国忠清南道
代理机构 ：
北京市中伦律师事务所
代理人 ：
钟锦舜
优先权 ：
CN202111479348.X
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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