一种三电极双源激励等离子体发生装置

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摘要

本发明公开了一种三电极双源激励等离子体发生装置，包括内管固定卡套、外管固定卡套、外石英管和内石英管，外管固定卡套和内管固定卡套螺纹穿插连接，外石英管的顶部套接在外管固定卡套的底部，内石英管的顶部套设在内管固定卡套的底部；高压极PCB板设置在内石英管的底端；地极PCB板设置在外石英管的底端；高压极PCB板通过连接头并利用导线和第一激励源电性连接，地极PCB板通过连接头并利用导线和地级电性连接；实心电极的顶端设置有介质板。本发明的有益效果是：本发明使用三个电极形成两级放电的结构，利于放电产生的同时，两级放电减小了由于气体流速过大导致的原料气的流失，使原料气体的利用更加充分，且使其裂解更加充分。

基本信息

专利标题：

一种三电极双源激励等离子体发生装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113556855A

申请号：

CN202110830802.5

公开（公告）日：

2021-10-26

申请日：

2021-07-22

授权号：

CN113556855B

授权日：

2022-06-10

发明人：

熊青黄清华宋一嘉乔俊杰汪传奇杨琦卫丽娟袁博文卢琪

申请人：

重庆大学

申请人地址：

重庆市沙坪坝区沙正街174号

代理机构：

重庆天成卓越专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

路宁

优先权：

CN202110830802.5

主分类号：

H05H1/24

IPC分类号：

H05H1/24 H05H1/46