二维温度平衡模式MEMS风速风向传感器及其制备方法
授权
摘要
本发明公开了一种二维温度平衡模式MEMS风速风向传感器及其制备方法，传感器包括传感器芯片部分和测控电路，传感器芯片部分基于热电偶结构，测控电路系统采用温度平衡模式。芯片中的测温元件热电偶由两层热偶臂组成。基于分时复用的思想，持续采样x和y方向上的输出电压，利用控制电路调整4个加热元件上的功耗，使得x和y方向上、下游温差为零。最终，根据4个加热元件的功耗值即可获取风速和风向信息。相较于现有技术，该传感器结构提出了新的基于热电偶的二维风速风向传感结构与检测过程，此外，解决了垂直方向热偶臂交叉互连问题，在实现多层热电堆测温时有减少材料层数与优化制备工艺的优势。
基本信息
专利标题 ：
二维温度平衡模式MEMS风速风向传感器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113466488A
申请号 ：
CN202110814255.1
公开（公告）日 ：
2021-10-01
申请日 ：
2021-07-19
授权号 ：
CN113466488B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
易真翔谢雨珏秦明黄庆安
申请人 ：
东南大学
申请人地址 ：
江苏省南京市江宁区东南大学路2号
代理机构 ：
南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
吴旭
优先权 ：
CN202110814255.1
主分类号 ：
G01P5/10
IPC分类号 ：
G01P5/10 G01P13/02 G01K7/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P5/00
测量流体的速度，例如空气流；测量物体相对于流体的速度，例如船、航行器的速度
G01P5/10
通过测量热变量
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2021-10-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01P 5/10
申请日 : 20210719
申请日 : 20210719
2021-10-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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