半导体装置
公开
摘要
本发明的实施方式提供一种能够适当地将包含金属元素的2个膜接近地配置的半导体装置。根据一实施方式,半导体装置具备:积层膜,交替地包含多个电极层与多个绝缘层;电荷存储层,介隔第1绝缘膜设置在所述积层膜内;半导体层,介隔第2绝缘膜设置在所述电荷存储层内;以及第1部分,在所述电极层与所述绝缘层之间及所述电极层与所述第1绝缘膜之间,介隔第3绝缘膜设置在所述绝缘膜及所述第1绝缘膜的表面。所述第3绝缘膜包含第1金属元素及第1元素,所述第1部分包含第2元素及第3元素。所述电极层具备:第1电极层,包含第2金属元素,设置在所述第1部分侧;以及第2电极层,包含第3金属元素,设置在所述第1部分的相反侧;所述第2元素与所述第3元素的电负性之差大于所述第1金属元素与所述第1元素的电负性之差。
基本信息
专利标题 :
半导体装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114628398A
申请号 :
CN202110804572.5
公开(公告)日 :
2022-06-14
申请日 :
2021-07-16
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
戸田将也高桥恒太松尾和展神谷优太森伸二虎谷健一郎
申请人 :
铠侠股份有限公司
申请人地址 :
日本东京
代理机构 :
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 :
杨林勳
优先权 :
CN202110804572.5
主分类号 :
H01L27/11524
IPC分类号 :
H01L27/11524 H01L27/11556 H01L27/1157 H01L27/11582
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27/00
由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27/02
包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27/04
其衬底为半导体的
H01L27/10
在重复结构中包括有多个独立组件的
H01L27/105
包含场效应组件的
H01L27/112
只读存储器结构的
H01L27/115
电动编程只读存储器;其多步骤制造方法
H01L27/11517
具有浮栅的
H01L27/11521
以存储器核心区为特征的
H01L27/11524
具有单元选择晶体管的,例如,NAND
法律状态
2022-06-14 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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