测量装置、信息处理装置、记录介质及信息处理方法
公开
摘要

本发明提供一种测量装置、信息处理装置、记录介质及信息处理方法,与使测量对象物旋转而获得该测量对象物中的成为测量对象的部分的表面的关于倾斜度的信息的情况相比,能够以更高精度获得测量对象物中的成为测量对象的部分的表面的关于倾斜度的信息。一种测量装置,其具备进行光对测量对象物的照射的光照射单元及进行该光照射单元的控制的处理器,所述处理器执行如下处理:从一方向上的位置彼此不同的多个部位进行光对所述测量对象物的特定部位的照射;及从与所述一方向交叉的方向上的位置彼此不同的多个部位进行光对所述测量对象物的所述特定部位的照射。

基本信息
专利标题 :
测量装置、信息处理装置、记录介质及信息处理方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114384010A
申请号 :
CN202110746430.8
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2021-07-01
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
平松崇针贝润吾市川裕一桑田良隆
申请人 :
富士胶片商业创新有限公司
申请人地址 :
日本东京港区赤坂九丁目7番3号
代理机构 :
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 :
王沛懿
优先权 :
CN202110746430.8
主分类号 :
G01N21/01
IPC分类号 :
G01N21/01  G01C9/00  G01B11/26  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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