一种降低高温下大型真空室本底漏率装置
授权
摘要
本发明属于真空应用技术领域,具体涉及一种降低高温下大型真空室本底漏率装置。本发明中,干泵、反应炉、液氮换热器安装在箱体的内部,干泵固定安装在箱体内的底部,干泵、反应炉、液氮换热器通过管道并联连接;进气口一端伸出箱体,另一端连接在液氮换热器的管路上;出气口同时与液氮换热器的管路、反应炉的管路连接;干泵用于对除氢系统的整体管道进行排气并达到低真空;反应炉作为气体的反应容器,其内部设有吸气剂材料;液氮换热器与屏蔽块热氦检漏设备中出来的高温气体进行热交换,降低高温气体温度。本发明能有效降低高温下大型真空室本底漏率,提升整套热氦检漏测试系统的检测灵敏度,以满足更严格的检漏需求。
基本信息
专利标题 :
一种降低高温下大型真空室本底漏率装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113252251A
申请号 :
CN202110472108.0
公开(公告)日 :
2021-08-13
申请日 :
2021-04-29
授权号 :
CN113252251B
授权日 :
2022-05-20
发明人 :
谌继明冷桢王平怀段旭如王全明许敏康伟山周毅李佳霖范小平陈艳宇韦郑兴
申请人 :
核工业西南物理研究院
申请人地址 :
四川省成都市双流西南航空港黄荆路5号
代理机构 :
核工业专利中心
代理人 :
董和煦
优先权 :
CN202110472108.0
主分类号 :
G01M3/20
IPC分类号 :
G01M3/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M3/00
结构部件的流体密封性的测试
G01M3/02
应用流体或真空
G01M3/04
通过在漏泄点检测流体的出现
G01M3/20
应用特殊示踪物质,例如染料、荧光材料、放射性材料
法律状态
2022-05-20 :
授权
2021-08-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 3/20
申请日 : 20210429
申请日 : 20210429
2021-08-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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